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OTSUKA大塚电子 测量仪器 Smart膜厚仪
OTSUKA大塚电子 测量仪器 Smart膜厚仪OTSUKA大塚电子 测量仪器 Smart膜厚仪规格样式量测原理反射分光法（光干涉法）、非破坏性量测膜厚量测范围1~50μm（显示上限60μm）重复精度2.1σ 0.01μm（SiO2膜1μm）量测时间1秒内量测层数1层数据输出附属操作屏幕显示…
产品详情
Product Detail
OTSUKA大塚电子 测量仪器 Smart膜厚仪
OTSUKA大塚电子 测量仪器 Smart膜厚仪
规格样式
量测原理 | 反射分光法（光干涉法）、非破坏性量测 |
膜厚量测范围 | 1~50μm（显示上限60μm） |
重复精度 | 2.1σ 0.01μm（SiO2膜1μm） |
量测时间 | 1秒内 |
量测层数 | 1层 |
数据输出 | 附属操作屏幕显示或以USB输出Excel档案 |
量测Spot | Φ1mm以下 |
重量 | 约1.1kg |
选配
笔型探头
能够测量狭窄区域或形状的样品。 探头尖端Φ6mm。
非接触式载台
对于湿膜或半导体晶圆等不想接触的样品，可以通过自由设定探头位置进行非接触测量。
