OTSUKA大塚电子 测量仪器 OPTM-A1

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OTSUKA大塚电子 测量仪器 OPTM-A1

OTSUKA大塚电子 测量仪器 OPTM-A1

OTSUKA大塚电子 测量仪器 OPTM-A1OTSUKA大塚电子 测量仪器 OPTM-A1规格式样（自动XY平台型）OPTM-A1OPTM-A2OPTM-A3波长范围230 ~ 800 nm360 ~ 1100 nm900 ~ 1600 nm膜厚范围1nm ~ 35μm7nm ~ 49μm16nm ~ 92μm测定时间1秒 / 1点以内光径大小10μm (最小约3μm…

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OTSUKA大塚电子   测量仪器    OPTM-A1

OTSUKA大塚电子   测量仪器    OPTM-A1


规格式样

（自动XY平台型）


OPTM-A1
OPTM-A2
OPTM-A3
波长范围230 ~ 800 nm360 ~ 1100 nm900 ~ 1600 nm
膜厚范围1nm ~ 35μm7nm ~ 49μm16nm ~ 92μm
测定时间1秒 / 1点以内
光径大小10μm (最小约3μm)
感光元件CCDInGaAs
光源规格氘灯 卤素灯卤素灯
尺寸556(W) X 566(D) X 618(H) mm (自动XY平台型的主体部分)
重量66kg（自动XY平台型的主体部分）

应用范围

● 半导体、复合半导体：硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、介电常数材料

● FPD：LCD、TFT、OLED（有机EL）

● 资料储存：DVD、磁头薄膜、磁性材料

● 光学材料：滤光片、抗反射膜

● 平面显示器：液晶显示器、薄膜晶体管、OLED

● 薄膜：AR膜、HC膜、PET膜等

● 其它：建筑用材料、胶水、DLC等