OTSUKA大塚电子 测量仪器 OPTM-A2OTSUKA大塚电子 测量仪器 OPTM-A2规格式样(自动XY平台型)OPTM-A1OPTM-A2OPTM-A3波长范围230 ~ 800 nm360 ~ 1100 nm900 ~ 1600 nm膜厚范围1nm ~ 35μm7nm ~ 49μm16nm ~ 92μm测定时间1秒 / 1点以内光径大小10μm (最小约3μm…
OTSUKA大塚电子 测量仪器 OPTM-A2
OTSUKA大塚电子 测量仪器 OPTM-A2
规格式样
(自动XY平台型)
OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
| 波长范围 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
| 膜厚范围 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
| 测定时间 | 1秒 / 1点以内 | ||
| 光径大小 | 10μm (最小约3μm) | ||
| 感光元件 | CCD | InGaAs | |
| 光源规格 | 氘灯 卤素灯 | 卤素灯 | |
| 尺寸 | 556(W) X 566(D) X 618(H) mm (自动XY平台型的主体部分) | ||
| 重量 | 66kg(自动XY平台型的主体部分) | ||
应用范围
● 半导体、复合半导体:硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、介电常数材料
● FPD:LCD、TFT、OLED(有机EL)
● 资料储存:DVD、磁头薄膜、磁性材料
● 光学材料:滤光片、抗反射膜
● 平面显示器:液晶显示器、薄膜晶体管、OLED
● 薄膜:AR膜、HC膜、PET膜等
● 其它:建筑用材料、胶水、DLC等