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OTSUKA大塚电子 测量仪器 嵌入式膜厚检测仪
OTSUKA大塚电子 测量仪器 嵌入式膜厚检测仪OTSUKA大塚电子 测量仪器 嵌入式膜厚检测仪产品信息特 点● 采用分光干涉法● 搭载高精度FFT膜厚解析系统（专利 第4834847号）● 使用光学光纤，可灵活构筑测量系统● 可嵌入至各种制造设备。● 实时测量膜厚● 可…
产品详情
Product Detail
OTSUKA大塚电子 测量仪器 嵌入式膜厚检测仪
OTSUKA大塚电子 测量仪器 嵌入式膜厚检测仪
产品信息
特 点
● 采用分光干涉法
● 搭载高精度FFT膜厚解析系统（专利 第4834847号）
● 使用光学光纤，可灵活构筑测量系统
● 可嵌入至各种制造设备。
● 实时测量膜厚
● 可对应远程操作、多点测量
● 采用寿命长、安全性高的白色LED光源
测量项目
多层膜厚解析
用 途
光学薄膜（超硬涂层、AR薄膜、ITO等）
FPD相关（光刻胶、SOI、SiO2等）