OTSUKA大塚电子 测量仪器 SF-3/300

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OTSUKA大塚电子 测量仪器 SF-3/300

OTSUKA大塚电子 测量仪器 SF-3/300

OTSUKA大塚电子 测量仪器 SF-3/300OTSUKA大塚电子 测量仪器 SF-3/300规格式样型号SF-3/200SF-3/300SF-3/800SF-3/1300尺寸123（W）x 224(D)x 128(H)mm硅片测量厚度范围6~400μm10~775μm20~1000μm50~1300μm树脂厚度范围10~1000μm20~1500μm40~2000μm100~2600μ…

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Product Detail

OTSUKA大塚电子   测量仪器   SF-3/300

OTSUKA大塚电子   测量仪器   SF-3/300



规格式样

型号SF-3/200
SF-3/300
SF-3/800
SF-3/1300
尺寸123（W）x 224(D)x 128(H)mm
硅片测量厚度范围6~400μm
10~775μm
20~1000μm
50~1300μm
树脂厚度范围10~1000μm
20~1500μm
40~2000μm
100~2600μm
最小采样周期5kHz(200μsec)
重复精度0.01 %以下（*1）
测量光斑直径φ20μm以上（*2）
测量距离50 、80、120、150 、200mm
光源
半导体光源（镭射Class3B）
分析方法FFT分析法
接口
LAN, I/O端口
电源
DC24V （AC电源需另外购入）
选配件
多种测试距离套筒、电源单元（AC用）、AL基准、测试光检出标的、光纤清洁器

*1 ： 初始标准样品在约 1000 μm 空气间隙测量时的相对标准偏差 (n = 20)

*2 ： WD80 mm 探头规格时的设计值