OTSUKA大塚电子 测量仪器 SF-3

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OTSUKA大塚电子 测量仪器 SF-3

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OTSUKA大塚电子 测量仪器 SF-3OTSUKA大塚电子 测量仪器 SF-3规格式样SF-3膜厚测量范围0.1 μm ~ 1600 μm※1膜厚精度0.1% 以下重复精度0.001% 以下测量时间10msec 以下测量光源半导体光源测量口径φ27μm※2WD3 mm ~ 200 mm测量时间10msec 以下※1 随光谱仪种类不…

产品详情

Product Detail

OTSUKA大塚电子   测量仪器   SF-3

OTSUKA大塚电子   测量仪器   SF-3



规格式样


SF-3

膜厚测量范围

0.1 μm ~ 1600 μm※1

膜厚精度

±0.1% 以下

重复精度

0.001% 以下

测量时间

10msec 以下

测量光源

半导体光源

测量口径

φ27μm※2

WD

3 mm ~ 200 mm

测量时间

10msec 以下

※1 随光谱仪种类不同,厚度测量范围不同
※2 最小φ6μm