日本SATOVAC佐藤 真空干燥设备 HSV-12-80

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日本SATOVAC佐藤 真空干燥设备 HSV-12-80

日本SATOVAC佐藤 真空干燥设备 HSV-12-80

日本SATOVAC佐藤 真空干燥设备 HSV-12-80日本SATOVAC佐藤 真空干燥设备 HSV-12-80主仕様型　　式HSV-3-30GHSV-8-50HSV-12-80到達圧力10-3Pa10-4Pa基板加熱温度-Max 300℃蒸発源（電極）2対 10V Max150A2対 20V Max200Aバルブ操作手動自動手動自動手動真空槽φ300…

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日本SATOVAC佐藤   真空干燥设备   HSV-12-80

日本SATOVAC佐藤   真空干燥设备   HSV-12-80




主仕様

型　　式HSV-3-30GHSV-8-50HSV-12-80
到達圧力×10-3Pa×10-4Pa
基板加熱温度-Max 300℃
蒸発源（電極）2対 10V Max150A2対 20V Max200A
バルブ操作手動自動手動自動手動
真空槽φ300×H300mm
透明ガラス		φ500×H500mm（水冷式）
SUS 304		φ800×H700mm（水冷式）/前扉式
SUS 304
回転機構-公転機構自公転機構
内部機構シャッター機構、抵抗加熱機構シャッター機構，加熱ヒーター,抵抗加熱機構
主ポンプ油拡散3inches油拡散8inches油拡散12inches又はクライオ
補助ポンプ150L/min500L/min1500L/min
主バルブ3inches8inches12inches