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日本SATOVAC佐藤 真空干燥设备 SRC-100V
日本SATOVAC佐藤 真空干燥设备 SRC-100V日本SATOVAC佐藤 真空干燥设备 SRC-100V主仕様到達圧力10‒5 Pa真空計BAゲージ、キャパシタンスマノメーターワークサイズW100mmL200ｍt 50～100um送り速度0.2～4m/min (CW/CCW 可能)真空槽SUS304 Ｗ500Ｈ850Ｄ450㎜ロール…
产品详情
Product Detail
日本SATOVAC佐藤 真空干燥设备 SRC-100V
日本SATOVAC佐藤 真空干燥设备 SRC-100V
主仕様
| 到達圧力 | ×10‒5 Pa |
|---|---|
| 真空計 | BAゲージ、キャパシタンスマノメーター |
| ワークサイズ | W100mm×L200ｍ×t 50～100um |
| 送り速度 | 0.2～4m/min (CW/CCW 可能) |
| 真空槽 | SUS304 Ｗ500×Ｈ850×Ｄ450㎜ |
| ロールコーン | φ250 水冷式 |
| 軸シール | 磁気シール使用 |
| 成膜前プラズマ処理 | 13.56ＭＨｚ ＲＦ電極 ×１式 |
| 蒸発源 | ① 70×200 ＤＣマグネトロン型 ×２式まで ② 抵抗蒸発源 |
| 主ポンプ | ＴＭＰ 1100L/s |
| 水分排気 | ＣＲＹＯスーパートラップ |
| プロセスガス | Ar , O2 , N2 , マスフローコントローラ使用 |
| 床面積 | 4㎡ |
| ユーティリティ | ・AC200V 3φ 100A ・冷却水 |