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ULVAC爱发科 天然氧化物薄膜去除装置 RISE-300
ULVAC爱发科 天然氧化物薄膜去除装置 RISE-300ULVAC爱发科 天然氧化物薄膜去除装置 RISE-300规范型RISE-300等离子体源微波电源设备配置EFEM + LL + PM基底尺寸Φ300mm基底阶段陶瓷船（每批50件）排气系统机械助推泵 + DRP控制系统FAPC+TFT触摸面板气体感应系统…
产品详情
Product Detail
ULVAC爱发科 天然氧化物薄膜去除装置 RISE-300
ULVAC爱发科 天然氧化物薄膜去除装置 RISE-300
规范
| 型 | RISE-300 | |
| 等离子体源 | 微波电源 | |
| 设备配置 | EFEM + LL + PM | |
| 基底尺寸 | Φ300mm | |
| 基底阶段 | 陶瓷船（每批50件） | |
| 排气系统 | 机械助推泵 + DRP | |
| 控制系统 | FAPC+TFT触摸面板 | |
| 气体感应系统 | 3系统 | |