ULVAC爱发科多级根式干式真空泵 HR

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ULVAC爱发科多级根式干式真空泵 HRULVAC爱发科多级根式干式真空泵 HR规范型HR60HR90HR300HR600HR1200所用泵DRPHR60HR90HR60HR90HR90MPB--PRC-003APRC-006APRC-012A最大泵送速度50Hzm3/h（L/min）62(1030)112(1860)359(5,980)653(10,900)1,012(16,900)60Hzm3/…

ULVAC爱发科多级根式干式真空泵 HR

规范

型			HR60	HR90	HR300	HR600	HR1200
所用泵		DRP	HR60	HR90	HR60	HR90	HR90
		MPB	-	-	PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A
最大泵送速度	50Hz	m³/h （L/min）	62(1030)	112(1860)	359(5,980)	653(10,900)	1,012(16,900)
	60Hz	m³/h （L/min）	80(1333)	126(2100)	365(6,080)	701(11,700)	1,051(17,500)
达到压力		爸	5		0.67
最大入口压力（入口压力）			大气压 *1
最大排气压力（排放压力）		爸	1~大气压
进气口（CE规范）			VG50（KF50）	VG80（KF50）	VG80（KF80）		VG100（KF100）
排气口			KF40
质量		公斤	180	245	275	370	420
电力	三个阶段	真空（Hz）	200(50/60), 220(60)
现值	常规时间	一个	7.1 （200伏时）	11.2 （200伏）	7.8 （200伏时）	12.9 （200伏）	15.4 （200伏时）
	最大	一个	7.3 （200伏时）	11.8 （200伏时）	8.1 （200伏时）	13.8 （200伏时）	18.9 （200伏时）
冷却水暂时压力		MPa	0.1~0.3
冷却水进出口压力差		MPa	>0.1
冷却水流量		L/min	>5.0
净化气体	初级压力	MPa	0.1~0.5
	次级压力	MPa	0.05~0.1
N₂ 清洗行动	轴	SLM	5
	加斯·巴拉	SLM	0~45

HR60	HR90
HR180	HR300
HR600	HR1200

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