ULVAC爱发科 多级根式干式真空泵 GR180ULVAC爱发科 多级根式干式真空泵 GR180规范型GR60AGR90AGR180A最大泵送速度50Hzm3/h(L/min)62(1860)112(1030)183(3100)60Hzm3/h(L/min)80(1333)126(2100)237(3850)达到压力 *1爸5.0最大入口压力气压最大排气压力爸1~大…
ULVAC爱发科 多级根式干式真空泵 GR180
ULVAC爱发科 多级根式干式真空泵 GR180
| 型 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
| 最大泵送速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1860) | 112(1030) | 183(3100) | |||
| 60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
| 达到压力 *1 | 爸 | 5.0 | ||||||
| 最大入口压力 | 气压 | |||||||
| 最大排气压力 | 爸 | 1~大气压 | ||||||
| 进气 | VG50 | VG80 | ||||||
| 排气口 | NW40 | |||||||
| DRP表面处理 | 〇 | |||||||
| 发动机 | 功率 [千瓦] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 电压 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
| 60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
| 质量 | 公斤 | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷却方法 | 冷却水 一次供水压力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||
| 冷却水 进出口压力差 | MPa | >0.1 | ||||||
| 冷却水温度 | °C | 10~30 *2 | ||||||
| 冷却水流的考虑 | L/min | >5.0 | ||||||
| 氮气 | 一次供水压力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
| 次级侧 调节压力 *3 | MPa | 0.05~0.1(运行时) | ||||||
| 轴 | SLM | 5.0 *4 | ||||||
*1 极限压力是氮气(轴密封气)为5.0 SLM时的数值。
*2 不要浓缩。
*3 这是调节器需调节压力表的数值。
*4 氮气(轴密封气体)的流量固定为5.0 SLM。