ULVAC爱发科多级根式干式真空泵 LR

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ULVAC爱发科多级根式干式真空泵 LRULVAC爱发科多级根式干式真空泵 LR规范型LR60LR90LR180LR421LR421-T最大泵送速度50Hzm3/h（L/min）62 (1030)112 (1860)183 (3100)440 (7333)60Hzm3/h（L/min）80 (1333)126 (2100)237 (3950)440 (7333)达到压力5.0 Pa最大入…

ULVAC爱发科多级根式干式真空泵 LR

规范

型			LR60	LR90	LR180	LR421	LR421-T
最大泵送速度	50Hz	m³/h （L/min）	62 (1030)	112 (1860)	183 (3100)	440 (7333)
	60Hz	m³/h （L/min）	80 (1333)	126 (2100)	237 (3950)	440 (7333)
达到压力			5.0 Pa
最大入口压力（入口压力）			气压
最大排气压力（排放压力）			1Pa ~ 大气压
进气口（CE规范）			VG50（KF50）	VG80（KF50）		VG100
排气口			KF40			VG50
质量		公斤	180	245	335	415
电力 *1	三个阶段	VAC （Hz）	200 (50/60) , 220 (60)			180~240 / 380~440（50/60）
现值	常规时间	一个	6.9（200伏时）	11.2（200伏）	18.9（200伏时）	20.8（200伏时）
	最大	一个	7.3（200伏时）	11.8（200伏时）	20.6（200伏时）	48.5（200伏时）
冷却水暂时压力		MPa	0.1~0.3			0.2~0.5
冷却水进出口压力差		MPa	>0.1			>0.2
冷却水流量		L / min	>5.0			>4.0
净化气体	初级压力	MPa	0.1~0.5
	次级压力	MPa	0.05~0.1
N₂ 清洗行动	轴	SLM	5
	加斯·巴拉	SLM	0~45			没有	0~45

*1 订购时请注明。

型			LR300	LR600	LR1200	LR1800	LR3601	LR3601-T（TT）	LR3601-R	LR3601-TR（TTR）
所用泵		DRP	LR60	LR90	LR90	LR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T
		MPB	PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C	PRC-036C（-T）	PRC-036D	PRC-036D（D-T）
最大泵送速度	50Hz	m³/h （L/min）	359 （5,980）	653 （10,900）	1,012 （16,900）	1,701 （28,350）	3,200 (53,333)
	60Hz	m³/h （L/min）	365 （6,080）	701 （11,700）	1,051米（17,500）	1,784 （29,700）	3,200 (53,333)
达到压力			0.67 Pa
最大入口压力（入口压力）			气压
最大排气压力（排放压力）			1Pa ~ 大气压
进气口（CE规范）			VG80（KF80）		VG100 （KF100）	VG150 （KF100）	VG150
排气口			KF40				KF50
MBP表面处理			〇 *2	〇 *2	〇 *2	〇 *2	×	T：× TT：×	×	TR：× TTR：〇
质量		公斤	275	370	420	545	660	720	660	720
电力 *3	三个阶段	VAC （Hz）	200 (50/60), 220 (60)				180~240 / 380~440（50/60）
现值	常规时间	一个	7.0 （200伏时）	12.3 （200伏）	13.7 （200伏）	21.4 （200伏时）	31.0（200伏时） 20.5伏（400伏时）		35.4（200伏时） 20.5伏（400伏时）
	最大	一个	9.6 （200伏时）	19.0 （200伏时）	24.2 （200伏）	39.8 （200伏时）	58.4（200伏时） 40.5伏（400伏时）		82.0（200伏）40.5 （400伏）
冷却水暂时压力		MPa	0.1~0.3				0.2~0.5
冷却水进出口压力差		MPa	>0.1		0.1~0.3		0.2~0.5
冷却水流量		L / min	>5.0				>4.0
净化气体	初级压力	MPa	0.1~0.5
	次级压力	MPa	0.05~0.1
N₂ 清洗行动	轴	SLM	5
	加斯·巴拉	SLM	0~45				无 *4	0~45	无 *4	0~45