ULVAC爱发科 油旋转真空泵 TM-2ULVAC爱发科 油旋转真空泵 TM-2规范型安装法兰 *1应用真空泵质量(公斤)材料TMX-1特殊法兰:G1/1/2PVD-180(B) *2PVD-360(B)VD151VD2011.1琴体:低碳钢(SPCC) 滤网:玻璃棉TM201VF40/G 1/1/2VD30C(低负载)5个VD40C(低负载…
ULVAC爱发科 油旋转真空泵 TM-2
ULVAC爱发科 油旋转真空泵 TM-2
| 型 | 安装法兰 *1 | 应用真空泵 | 质量(公斤) | 材料 |
| TMX-1 | 特殊法兰:G1/1/2 | PVD-180(B) *2 PVD-360(B) VD151 VD201 | 1.1 | 琴体:低碳钢(SPCC) 滤网 :玻璃棉 |
| TM201 | VF40/G 1/1/2 | VD30C(低负载)×5个 VD40C(低负载) | 8.5 | |
| TM401 | VF40/G 1/1/2 | VD30C(高负载)*6个 VD40C(高负载)VD60C (低负载) VD90C(低负载) | 10 | |
| TM-2 (标准型,F型)*3 | VG50/G2,VG50 (用于PKS-016), VF40/G2,VG50 (用于VD60C/VD90C) | PKS-016 VD60C(高负载)*2 VD90C(高负载) | 5.7(6.2) *4 | |
| TM-3 (标准型,F型) | VG80/G3,VG80 (用于PKS-030), VF50\G3,VG80 (用于VS1501) | PKS-030 VS1501 | 10(11.5)*4 | |
| TM-4 (标准型,F型) | VG100/G4,VG100 (用于PKS-070), VF50/G4,VG100 (用于VS2401) | PKS-070 VS2401 | 23.5(25)*4 | |
| TM-4S | VG100 /VG100(用于PKS-070) VF50/VG100 (用于VS2401) | PKS-070(高负载) VS2401(高负载) | 59 |
| *1 | 泵侧安装法兰:JIS B2290真空法兰(不含特殊法兰)/排气侧管螺丝直径 |
| *2 | 安装于PVD-180(B)、PVD-360(B)、VD151、VD201、VD60C和VD90C上需要适配器 |
| *3 | 标准型:伞型,F型:法兰型。 |
| *4 | ( ) 中的质量是法兰安装时的质量。 |
| *5 | 对于低负载,连续进气压力:10kPa或更低应作为参考。 |
| *6 | 对于高负载,连续进气压力应为100 kPa或以下作为参考。 |