ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U4HULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U4H标准规格排气速度(20℃)氮L/s450氢500氩370水1,100极限压力Pa10-7最大流量氩Pa・L/s1.3103排气容量氩Pa・L1.0107氢1.5105冷却下降时间min(50/60Hz)45/50重量Kg14.5外形尺寸 (单位:mm)
ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U4H
ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U4H
| 排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 450 |
| 氢 | 500 | ||
| 氩 | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 极限压力 | Pa | 10-7 | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s | 1.3×103 |
| 排气容量 | 氩 | Pa・L | 1.0×107 |
| 氢 | 1.5×105 | ||
| 冷却下降时间 | min(50/60Hz) | 45/50 | |
| 重量 | Kg | 14.5 | |
