ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U6H

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ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U6H

ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U6H

ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U6HULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U6H标准规格排气速度(20℃)氮L/s750氢1,100氩620水2,100极限压力Pa(Torr)10-7(10-9)最大流量氩Pa・L/s(Torr・L/s)1.1103(7.9)排气容量氩Pa・L(Torr・L)5.6107(4.2105)氢3.1105(2.3103)冷却下降时间(动力循…

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ULVAC爱发科   冷凝泵    CRYO-U6H

ULVAC爱发科   冷凝泵    CRYO-U6H



标准规格

排气速度(20℃)氮L/s750
氢1,100
氩620
水2,100
极限压力Pa(Torr)10-7(10-9)
最大流量氩Pa・L/s(Torr・L/s)1.1×103(7.9)
排气容量氩Pa・L(Torr・L)5.6×107(4.2×105)
氢3.1×105(2.3×103)
冷却下降时间(动力循环)min(Hz)80/70(50/60)
吸气口法兰UVG-150,UFC-203
压缩机组C10T,C10AT
重量Kg19

*维护周期：16,000小时


外形尺寸 (单位:mm)

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