ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U12HLULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U12HL标准规格排气速度(20℃)氮L/s4,000氢6,800氩3,300水9,500极限压力Pa(Torr)10-7(10-9)最大流量氩Pa・L/s(Torr・L/s)2.0103(15.0)排气容量氩Pa・L(Torr・L)3.1108(2.3106)氢9.8105(7.4103)冷却下降时…
ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U12HL
ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U12HL
| 排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 4,000 |
| 氢 | 6,800 | ||
| 氩 | 3,300 | ||
| 水 | 9,500 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 2.0×103(15.0) |
| 排气容量 | 氩 | Pa・L(Torr・L) | 3.1×108(2.3×106) |
| 氢 | 9.8×105(7.4×103) | ||
| 冷却下降时间(动力循环) | min(Hz) | 90/80(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-300,10BANSI | ||
| 压缩机组 | C30VRT | ||
| 重量 | Kg | 40 | |
*维护周期:16,000小时
