ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U16ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U16标准规格排气速度(20℃)氮L/s5,000氢10,000氩4,200水16,000极限压力Pa(Torr)10-7(10-9)最大流量氩Pa・L/s(Torr・L/s)1.4103(11.0)排气容量氩Pa・L(Torr・L)4.3108(3.3106)氢2.4106(1.8104)冷却下降时间…
ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U16
ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U16
| 排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 5,000 |
| 氢 | 10,000 | ||
| 氩 | 4,200 | ||
| 水 | 16,000 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.4×103(11.0) |
| 排气容量 | 氩 | Pa・L(Torr・L) | 4.3×108(3.3×106) |
| 氢 | 2.4×106(1.8×104) | ||
| 冷却下降时间(动力循环) | min(Hz) | 110/100(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-400 | ||
| 压缩机组 | C30VRT | ||
| 重量 | Kg | 61.0 | |
*维护周期:16,000小时
*移动托盘可选
