ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U20P

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ULVAC爱发科   冷凝泵    CRYO-U20P

ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U20P

ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U20PULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U20P标准规格排气速度(20℃)氮L/s10,000氢18,000氩8,400水29,000极限压力Pa(Torr)10-7(10-9)最大流量氩Pa・L/s(Torr・L/s)1.1103(8.7)排气容量氩Pa・L(Torr・L)5.8108(4.4106)氢4.6106(3.4104)冷却下降时…

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ULVAC爱发科   冷凝泵    CRYO-U20P

ULVAC爱发科   冷凝泵    CRYO-U20P



标准规格

排气速度(20℃)L/s10,000
18,000
8,400
29,000
极限压力Pa(Torr)10-7(10-9)
最大流量Pa・L/s(Torr・L/s)1.1×103(8.7)
排气容量Pa・L(Torr・L)5.8×108(4.4×106)
4.6×106(3.4×104)
冷却下降时间(动力循环)min(Hz)180/160(50/60)
吸气口法兰UVG-500
压缩机组C30VRT
重量Kg69.0

*维护周期:16,000小时

外形尺寸 (单位:mm)

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