ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U20HULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U20H标准规格排气速度(20℃)氮L/s10,000氢18,000氩8,400水29,000极限压力Pa(Torr)10-7(10-9)最大流量氩Pa・L/s(Torr・L/s)1.7103(12.8)排气容量氩Pa・L(Torr・L)5.8108(4.4106)氢4.6106(3.4104)冷却下降时…
ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U20H
ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U20H
| 排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 10,000 |
| 氢 | 18,000 | ||
| 氩 | 8,400 | ||
| 水 | 29,000 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.7×103(12.8) |
| 排气容量 | 氩 | Pa・L(Torr・L) | 5.8×108(4.4×106) |
| 氢 | 4.6×106(3.4×104) | ||
| 冷却下降时间 (动力循环) | min(Hz) | 160/140(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-500,20BANSI,ISO-500 | ||
| 压缩机组 | C30PVRT | ||
| 重量 | Kg | 72.0 | |
*维护周期:16,000小时
