ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U22P

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ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U22P

ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U22P

ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U22PULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U22P标准规格排气速度(20℃)氮L/s11,500氢14,000氩9,700水39,000极限压力Pa(Torr)10-7 (10-9)最大流量氩Pa・L/s(Torr・L/s)1.7103 (12.8)排气容量氩Pa・L(Torr・L)5.8108 (4.4106)氢6.0106 (4.5104)冷却下…

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Product Detail

ULVAC爱发科   冷凝泵    CRYO-U22P

ULVAC爱发科   冷凝泵    CRYO-U22P



标准规格

排气速度(20℃)氮L/s11,500
氢14,000
氩9,700
水39,000
极限压力Pa(Torr)10-7 (10-9)
最大流量氩Pa・L/s(Torr・L/s)1.7×103 (12.8)
排气容量氩Pa・L(Torr・L)5.8×108 (4.4×106)
氢6.0×106 (4.5×104)
冷却下降时间
(动力循环)		min(Hz)180/170 (50/60)
吸气口法兰UVG-550
压缩机组C30PVRT
重量Kg115.0

*保养周期：16,000小时

外形尺寸 (单位:mm)

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