ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U22H

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ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U22H

ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U22H

ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U22HULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U22H标准规格排气速度(20℃)氮L/s17,000氢25,000氩14,000水39,000极限压力Pa(Torr)10-7 (10-9)最大流量氩Pa・L/s(Torr・L/s)4.1103 (31)排气容量氩Pa・L(Torr・L)8.1108 (6.1106)氢8.5106 (6.4104)冷却下…

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Product Detail

ULVAC爱发科   冷凝泵    CRYO-U22H

ULVAC爱发科   冷凝泵    CRYO-U22H



标准规格

排气速度(20℃)氮L/s17,000
氢25,000
氩14,000
水39,000
极限压力Pa(Torr)10-7 (10-9)
最大流量氩Pa・L/s(Torr・L/s)4.1×103 (31)
排气容量氩Pa・L(Torr・L)8.1×108 (6.1×106)
氢8.5×106 (6.4×104)
冷却下降时间(动力循环)min(Hz)150/135 (50/60)
吸气口法兰VG-550
压缩机组C30VRT×2
重量Kg125.0

*保养周期：16,000小时

U22H,U30H fall under category of export contol products
Corresponds to export control product suach as strategic time
Please take nessecary procedure for Export permisson from Japan goverment

外形尺寸 (单位:mm)

u22h.gif