ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U30H

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ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U30H

ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U30H

ULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U30HULVAC爱发科 冷凝泵 CRYO-U30H标准规格排气速度(20℃)氮L/s28,000氢43,000氩23,000水70,000极限压力Pa(Torr)10-7(10-9)最大流量氩Pa・L/s(Torr・L/s)2.7103(20)排气容量氩Pa・L(Torr・L)7.8108(5.9106)氢1.5107(1.1105)冷却下降时…

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Product Detail

ULVAC爱发科   冷凝泵    CRYO-U30H

ULVAC爱发科   冷凝泵    CRYO-U30H



标准规格

排气速度(20℃)氮L/s28,000
氢43,000
氩23,000
水70,000
极限压力Pa(Torr)10-7(10-9)
最大流量氩Pa・L/s(Torr・L/s)2.7×103(20)
排气容量氩Pa・L(Torr・L)7.8×108(5.9×106)
氢1.5×107(1.1×105)
冷却下降时间(动力循环)min(Hz)240/200(50/60)
吸气口法兰VG-750
压缩机组C30VRT×2
重量Kg175.0

*维护周期：16,000小时

U22H,U30H fall under category of export contol products
Corresponds to export control product suach as strategic time
Please take nessecary procedure for Export permisson from Japan goverment

外形尺寸 (单位:mm)

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