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ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM1500A-MS
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM1500A-MSULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM1500A-MS规格表1型UTM300A-MSUTM400A-MSUTM800A-MSUTM1000A-MS进气口VG100 / ICF152VG150 / ICF203VG200 / ICF253出口口KF25KF40冷却方法水冷风冷水冷风冷水冷风冷水冷风冷极限压力 *1爸10-710-8…
产品详情
Product Detail
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM1500A-MS
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM1500A-MS
规格
表1
*1：数字被表达出来。
*2：没有防护网。
*3：最大进气压力和最大出口压力不能同时满足。
| 型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 进气口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 出口口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷却方法 | 水 冷 | 风 冷 | 水 冷 | 风 冷 | 水 冷 | 风 冷 | 水 冷 | 风 冷 | ||
| 极限压力 *1 | 爸 | 10-7 | 10-8 | |||||||
| 泵送速度 *2 | N2 | L/s | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 阿尔 | L/s | ー | ||||||||
| 他 | L/s | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| H2 | L/s | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 压缩率 | N2 | 1×109 | ||||||||
| 他 | 8×104 | |||||||||
| H2 | 1×104 | 4×103 | ||||||||
| 最大入口压力 *3 | 爸 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大出口压力 *3 | 爸 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 转速 | 转速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 启动时间 | 5分钟或更短 | |||||||||
| 安装位置 | 任何想要的方向 | |||||||||
| 表面处理 | 镍镀层 | |||||||||
| 冷却水 | 流量 | L/min | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー |
| 压力 | MPaG | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | |
| 噪声 | dB（A） | 60 | ||||||||
| 重量 | 公斤 | 14 | 33 | 32 | ||||||
| 推荐的倒泵 | 200升/轻微增加 | 500升/轻度 | ||||||||
| 控制器 | 组成 | 独立类型 | ||||||||
| 输入电力 | 单相AC200 〜240V ±10%（50/60Hz ±2Hz） | |||||||||
| 最大功率 | 0.55 | 1.0 | ||||||||
| 速度变化 | 速度可变于额定速度的25%到100%之间。（设置为0.1%） | |||||||||
| 通信 | 联系 | |||||||||
| 序列号：RS-232C / RS-485 | ||||||||||
| 重量 | 公斤 | 8 | ||||||||
*2：没有防护网。
*3：最大进气压力和最大出口压力不能同时满足。
表2
| 型 | UTM1300A-MS | UTM1500A-MS | UTM2400A-MS | UTM3400A-MS | UTM4300A-MS | ||
| 进气口 | VG200 / ICF253 | VG250 | VG300 / VG350 | VG350 | |||
| 出口口 | KF40 | ||||||
| 冷却方法 | 水冷 | ||||||
| 极限压力 *1 | 爸 | 10-7 | |||||
| 泵送速度 *2 | N2 | L/s | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| 阿尔 | L/s | ー | 2000 | 3100 | 4200 | ||
| 他 | L/s | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | ー | |
| H2 | L/s | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 压缩率 | N2 | 6×108 | 1×109 | ||||
| 他 | 1×104 | 7×104 | 1×105 | 3×104 | |||
| H2 | 1×103 | 3×103 | 6×103 | 2×103 | |||
| 最大入口压力 *3 | 爸 | 133 | 40 | ||||
| 最大出口压力 *3 | 爸 | 270 | 270 | ||||
| 转速 | 转速 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 启动时间 | 7分钟或更短 | 11分钟或更短 | 12分钟或更短 | 18分钟或更短 | |||
| 安装位置 | 任何想要的方向 | ||||||
| 表面处理 | 镍镀层 | ||||||
| 冷却水 | 流量 | L/min | 1~3 | 2~4 | |||
| 压力 | MPaG | 02~0.5 | |||||
| 噪声 | dB（A） | 60 | 57 | 60 | |||
| 重量 | 公斤 | 39 | 42 | 70 | 84 | 105 | |
| 推荐的倒泵 | 600升/轻微度以上 | 1300升/未成年人更多 | 1500升/轻微增加 | ||||
| 控制器 | 组成 | 独立类型 | |||||
| 输入电力 | 单相AC200 〜240V ±10%（50/60Hz ±2Hz） | ||||||
| 最大功率 | 1.0 | 1.5 | |||||
| 速度变化 | 速度可变于额定速度的25%到100%之间。（设置为0.1%） | ||||||
| 通信 | 联系 | ||||||
| 序列号：RS-232C / RS-485 | |||||||
| 重量 | 公斤 | 8 | |||||
*1：数字被表达出来。
*2：没有防护网。
*3：最大进气压力和最大出口压力不能同时满足。