产品目录
- SIBATA柴田
- TAKAMORI高森
- NICHIRI日理
- MICROTECH
- SUN-KAGAKU太阳科学
- KIKUCHI菊池
- MEIJI明治
- 山本镀金
- KEM京都电子
- IIJIMA饭岛电子
- KUBOTA久保田
- YAZAWA矢泽科学
- KETT凯特
- HORIBA堀场
- DKK-TOA东亚电波
- Takemura Electric竹村电机
- Kyowa Interface协和界面
- T-Dilex迪莱克
- Kiriyama桐山製作所
- CHINO千野
- ITOH伊藤制作所
- Takao高尾
- chuorika中央理化
- Meitec美泰克
- Shimadzu岛津
- TAITEC泰特克
- SUZUKEN铃研
- NISSINRIKA日伸理化
- ISUZU五十铃
- KOKUSAN科库森
- 日本ALP
- KOTOHIRA琴平
- THOMAS托马斯
- nichiryo立洋
- Ashizawa芦泽精工
- KYOWA共和电业
- YOSHIMITSU小平
- FLUORO福乐
- SMT
- sankyo seisakusho三共
- DAIKIN大金液压
- OGURA小仓
- MUSASHI武藏
- MICROSTONE微石
- 美国MW Industries, Inc
- LEPTRINO
- SINFONIA昕芙旎雅
- Osaka Vacuum大阪真空
- 日东电工NITTO
- LINTEC琳得科
- KOFLOC 科赋乐
- DIT东日技研
- FUSO扶桑精机
- YODOGAWA淀川
- FUJIKIN富士金
- EMP榎本
- EBARA荏原机械
- SR-ENGINEERING工程
- MAKE麦克
- NEW-ERA新时代
- IWAKI易威奇
- OKANO冈野
- SURUGA骏河精机
- FUJI Electric富士电机
- 日本Ashizawa
- 日本Luceo鲁机欧
- THOMAS科学器械(株)
- NICHIRYO立洋(株)
- 大明化学工業(株) (TAIMEI)
- MIYUKI美幸辉
- INFLIDGE英富丽
- CEJN希恩
- 美国CPU
- Staubli史陶比尔
- 德国DI-SORIC
- 日本T&T
- 德国OPTRIS
- ASAHI-SPECTRA朝日分光
- 美国派克PARKER
- TOKIMEC东机美
- SUN-KAGAKU 太阳科学
- HIRA CERAMICS比良陶瓷
- NIKKATO 日陶科学
- NDK电色
- EMIC爱美克
- ADCMT爱德万
- FUJICON富士
- CHUKOH中兴化成
- MISAKA米卡萨
- MATSUO松尾电气
- KASHIYAMA樫山工业
- KURABO仓纺
- SHOWA昭和电机
- SEM坂本电机
- KYOWA协和
- ACCRETECH 东京精密
- ULVAC爱发科
- KOTOHIRA琴平
- YAMABISHI山菱电机
- KYORITSU共立机巧
- SATOVAC佐藤
- HEIDON新东科学
- CCS晰写速
- SONIC索尼克
- EXCEL艾库斯
- ONO SOKKI小野测器
- ANALYZER第一热研
- TOKI SANGYO东机产业
- HONDA本多电子
- IIJIMA饭岛电子
- SUGIYAMA杉山电机
- TOHNICH东日
- NGK
- WATSON深江化成
- TOPCON拓普康
- OHKURA大仓
- MALCOM马康
- NPM日脉
- FLUORO福乐
- NEWKON新光
- NS精密科学
- KASUGA春日电机
- SANKO山高
- Sugiyama杉山电机
- FUNATECH船越龙
- SIMCO思美高
- USHIO牛尾
- THINKY新基
- TORAY东丽
- Kakuhunt写真化学
- REVOX莱宝克斯
- AND爱安德
- SEN日森特殊光源
- SAKAGUCHI坂口电热
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM3400A
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM3400AULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM3400A规格型号UTM1200AUTM1600AUTM2300AUTM3400A吸气口VG150ISO160FVG200VG250ISO200FISO250FVG250ISO250FVG300VG350ISO320F排气口KF40极限压力 *110-7 Pa排气速度 *2*3N21030 L/s1400 L/s2100 L/s3…
产品详情
Product Detail
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM3400A
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM3400A
规格
| 型号 | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||||||||
| 吸气口 | VG 150 | ISO 160F | VG 200 | VG 250 | ISO 200F | ISO 250F | VG 250 | ISO 250F | VG 300 | VG 350 | ISO 320F | |
| 排气口 | KF40 | |||||||||||
| 极限压力 *1 | 10-7 Pa | |||||||||||
| 排气速度 *2*3 | N2 | 1030 L/s | 1400 L/s | 2100 L/s | 3200 L/s | |||||||
| Ar | 980 L/s | 1330 L/s | 2000 L/s | 3100 L/s | ||||||||
| H2 | 660 L/s | 750 L/s | 1380 L/s | 2100 L/s | ||||||||
| 压缩比 | N2 | 2×108 | ≧ 1×108 | ≧ 1×109 | ||||||||
| He | 7×103 | 5×103 | 1×105 | |||||||||
| H2 | 8×102 | 9×102 | 6×103 | |||||||||
| 最大吸气口圧力 *4 | 26 Pa | 4.5 Pa | 7 Pa | |||||||||
| 最大排气口压力 *4 | 266 Pa | 200 Pa | 270 Pa | |||||||||
| 旋转数 | 37200 min-1 | 33700 min-1 | 27600 min-1 | |||||||||
| 旋转数可変功能 | 泵的运转旋转数可以在规定旋转数的25％～100％之间变化。 （设定单位为0.1％） | |||||||||||
| 启动时间 | 8分以内 | 9分以内 | 16分以内 | |||||||||
| 安装方向 | 可全方位安装 | |||||||||||
| 表面处理 *5 | 无 | |||||||||||
| 外部控制 | 远程接口 | D-sub25内针 接点入输出 | D-sub37内针 接点入输出 | |||||||||
| 串联接口 | D-sub9外针 RS232C/RS485 | D-sub9外针 RS232C/RS485 | ||||||||||
| 控制器 | 构成 | 与泵的本体一体化（内置于底部） | ||||||||||
| 电源 | 单相AC200 ～240V ±10%（50/60Hz ±2Hz） | |||||||||||
| 最大所要动力 | 0.75kVA | 1.2kVA | ||||||||||
| 冷却方式 | 水冷 | |||||||||||
| 冷却水 *6 | 流量 | 3～4 L/min | ||||||||||
| 水圧 | 0.2 ～ 0.4M PaG | |||||||||||
| 噪音 | 57 dB(A) | 60 dB(A) | ||||||||||
| 质量 | 43 kg | 41 kg | 56 kg | 94 kg | ||||||||
| 推荐辅助泵 *7 | 600L/min以上 | 1500L/min以上 | ||||||||||
| 符合标准 | CE、TUVus | |||||||||||
| 标准配件 | 吸气口用O-ring（仅VG），排气口用防尘罩，远程控制用连接器，使用说明书（CD-ROM) | |||||||||||
| 选择规格 | A流量 | AC连接器/AC电线（5m/10m/15m/20m） | ||||||||||
| 泵固定用特殊螺栓 | M10/ M12 | |||||||||||
| 泵固定用特殊螺栓要否 | 要(M10) *8 | 不要 *8 | ||||||||||
| 选项品 | 气口用适配器：KF10 | |||||||||||
*1：顺序表示。
*2：在没有保护网时的值。
*3：UTM2300A和UTM3400A为计算值。
*4：不能同时满足最大吸气口压力和最大排气口压力的条件。
*5：请勿使用反应性气体，腐蚀性气体。关于气体气体请咨询我们。
*6：不结露。
*7：30SCCM吸引时。
*8：螺栓的强度和固定方法等的各种条件，详细信息请参照规格书。
尺寸图
