ULVAC爱发科 溅射离子泵 GST-07L-BULVAC爱发科 溅射离子泵 GST-07L-B规格可连接泵演员泵(PST系列所有型号)作压力10-2 到10-4Pa或更低展示范围显示方法数字显示(7段LED灯)显示内容a) 输出电流显示自动选择两个范围:mA、μA(线性显示)b)输出电压显示0.0…
ULVAC爱发科 溅射离子泵 GST-07L-B
ULVAC爱发科 溅射离子泵 GST-07L-B
| 可连接泵 | 演员泵(PST系列所有型号) | |
| 作压力 | 10-2 到10-4Pa或更低 | |
| 展示范围 | 显示方法 | 数字显示(7段LED灯) |
| 显示内容 | ||
| a) 输出电流显示 | 自动选择两个范围:mA、μA(线性显示) | |
| b)输出电压显示 | 0.0至7.5 kV(H或L)(1范围线性显示) | |
| c)压力显示 | Pa, mbr (1×10-8~1×10-2Pa) (1×10-10~1×10-4Mbar) | |
| 输出释放电压 | DC+7.5kV (两点,高低,可通过前面板开关选择;高低电压设置,使用修剪器调节,约1.0至7.5kV) | |
| 输出电流 | 低于DC31mA | |
| 输入电压/电流 | AC100~115V±10% · 50/60Hz~3.0A AC200~240V±10% · 50/60Hz~1.5A | |
| MONITOR 端子输出信号 | 信号输出与7段面板显示成比例,每个范围的直流0至10伏全刻度,超过100kΩ | |
| 压力设定点 | 2分 | |
| 远程/本地 | 可通过面板开关选择 | |
| 外部控制功能 | 提供多种输入/输出功能(提供远程连接器)(远程,RS-232C通信控制) | |
| 保护功能 | 错误显示/多种保护功能,提供 高压(HV)输出,关机时,ERR 0至5灯光 ,启动保护定时器设置(可调节1至255分钟),断电后自动预留(高压保持开关作) | |
| 环境运行条件 | 温度 | 0~40°C |
| 湿度 | 低于85%(无露水) | |
| 辅料 | 输出线(5米),输入线(3米) | |
| 重量 | 主单位:约4公斤,电缆:约1.0公斤(标准) | |
| 尺寸 W x H x D | 240 x 99 x 370 mm {200 x 99 x 370 mm(机架安装支架除外)} | |