ULVAC爱发科油扩散真空泵 PFL-22TM

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ULVAC爱发科油扩散真空泵 PFL-22TMULVAC爱发科油扩散真空泵 PFL-22TM规格型号PFL-22PFL-22TMPFL-36PFL-52排气速度10,000 L/sec10,000 L/sec34,000 L/sec70,000 L/sec极限压力 *13.010-4 Pa临界背压16 Pa6.7 Pa16 Pa工作开始时间40 min60 min60 min液压油ULVO…

ULVAC爱发科油扩散真空泵 PFL-22TM

规格

型号		PFL-22	PFL-22TM	PFL-36	PFL-52
排气速度		10,000 L/sec	10,000 L/sec	34,000 L/sec	70,000 L/sec
极限压力 *1		3.0×10^-4 Pa
临界背压		16 Pa		6.7 Pa	16 Pa
工作开始时间		40 min		60 min	60 min
液压油		ULVOIL D-11
油量		5 L		13 L	27 L
水温		19～25℃
冷却水进水口 (尺寸)		Rc 1/2×2	Rc 1/2×2	Rc 1/2×2	Rc 1/2×4
					Rc 3/8×2
冷却水量		12 L/min	15 L/min	38 L/min	50 L/min
电压规格		200V / 3φ
电力需求		8 kW	10 kW	开始操作时 22 kW	开始操作时 45 kW
				稳定时 11 kW	稳定时 30 kW
加热器种类		盘绕加热器	盘绕加热器	盘绕加热器	盘绕加热器
推荐辅助泵 *2		PMB-040C＋PKS-070		PMB-040C＋PKS-070	PMB-060C＋PKS-070 x 2个
		(PMB1200D＋PKS-030)		(PMB1200D＋PKS-070)	PMB2400D＋PKS-070
				(PMB2400D＋PKS-070)
外形尺寸 *3	A	480 mm	480 mm	725 mm	1,000 mm
	B	630 mm	630 mm	1,022 mm	2,000 mm
	H	1,330 mm	1,330 mm	1,732 mm	2,845 mm
吸气口		VG550	VG550	VG900	52英寸VG相当
排气口		VG150	VG200	VG250	VG350
重量		290 Kg		650 Kg	1,400 Kg
油位计		视口 View port		视口 View port	视口 View port
温控器选项		有		有	有
恒温器设定温度		180		110	110

水冷挡板 (用于PFL)

型号		BW-22	BW-36	BW-52
电导		14,000 L/sec	54,000 L/sec	75,000 L/sec
外形尺寸 *3	D	φ680 mm	φ1,065 mm	φ1,480 mm
	T	101 mm	113 mm	165 mm
	t	26 mm	28 mm	35 mm
冷却水进水口(尺寸)		Rc 3/8	Rc 3/8	Rc 1/2
水容量		3 L/min	5 L/min	5 L/min
重量		28 kg	66 kg	200 kg

*1 当冷却水量为20℃时，极限压力基于电离真空计。
*2 这里是根据扩散泵最大流量来选择辅助泵的。
*3 通常情况下，考虑到粗抽时间，使用比这里所示的更大的机械增压泵和油回转真空泵也是合适的。

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规格

水冷挡板 (用于PFL)

尺寸图

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规格

水冷挡板 (用于PFL)

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