ULVAC爱发科 真空排气装置 VPC-250FULVAC爱发科 真空排气装置 VPC-250F规格型号VPC-250F极限压力10-4Pa台10-5Pa(使用液氮时)主泵油扩散泵(空冷) 200 L/sec辅助泵油回转真空泵 100 L/min主阀门65A插板阀辅助阀门三通阀吸气口VG-65重量55.7kg最大尺寸 (…
ULVAC爱发科 真空排气装置 VPC-250F
ULVAC爱发科 真空排气装置 VPC-250F
| 型号 | VPC-250F |
| 极限压力 | 10-4Pa台 |
| 10-5Pa(使用液氮时) | |
| 主泵 | 油扩散泵(空冷) 200 L/sec |
| 辅助泵 | 油回转真空泵 100 L/min |
| 主阀门 | 65A插板阀 |
| 辅助阀门 | 三通阀 |
| 吸气口 | VG-65 |
| 重量 | 55.7kg |
| 最大尺寸 (W×D×H) | 530mm(W)×537mm(D)×735mm(H) |
※电离真空计・皮拉尼真空计・液氮阱・吸气法兰・油雾捕集器是可选的。
| 型号 | VPC-250F |
| 所需电力 | 单相 100V 1.35kVA |
| 接地端子 | D种 (接地电阻值/100MΩ以下) |
| 安装 | 乙烯基电缆(带插头) 2m |

型号 DPF-200 极限压力 10-5Pa 最大排气速度 200L/sec 临界背压 20Pa 所要電力 单相 100V 0.45kW 使用油 SX 70cc 质量 5kg 吸气法兰 VG-65 排气管 Φ27mm 冷却方式 空冷
