ULVAC爱发科 真空排气装置 VFR-200M/X

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ULVAC爱发科 真空排气装置 VFR-200M/X

ULVAC爱发科 真空排气装置 VFR-200M/X

ULVAC爱发科 真空排气装置 VFR-200M/XULVAC爱发科 真空排气装置 VFR-200M/X规格型号VFR-200M/X极限压力7.010-４Pa1.510-４Pa（使用液氮时）主泵油扩散泵（空冷）　50 L/sec辅助泵油回转真空泵　20 L/minメイン阀门25A蝶阀辅助阀门三通阀吸气口VG-25重量20kg最大…

产品详情

Product Detail

ULVAC爱发科    真空排气装置   VFR-200M/X

ULVAC爱发科    真空排气装置   VFR-200M/X



规格

型号VFR-200M/X
极限压力7.0×10-４Pa
1.5×10-４Pa（使用液氮时）
主泵油扩散泵（空冷）　50 L/sec
辅助泵油回转真空泵　20 L/min
メイン阀门25A蝶阀
辅助阀门三通阀
吸气口VG-25
重量20kg
最大尺寸　（W×D×H）350mm(W)×320mm(D)×461mm(H)
※电离真空计・皮拉尼真空计・液氮阱・吸气法兰・油雾阱可选

效用

型号VPC-051
所需电力单相　100V　0.63kVA
接地端子Ｄ种　（接地电阻值／100MΩ以下）
安装乙烯基电缆（带插头）　2m

油扩撒泵

ph_dpf200.png

型　　式DPF-200
极限压力10-5Pa
最大排气速度200L/sec
临界背压20Pa
所要電力单相 100V 0.45kW
使用油SX 70cc
质量5kg
吸气法兰VG-65
排气管Φ27mm
冷却方式空冷




尺寸图

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