ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 SH200-R

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ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 SH200-R

ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 SH200-R

ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 SH200-RULVAC爱发科 热阴极电离真空计 SH200-R规格型号SH200-ASH200-RHT200-E（即将上市）规格标准规格串口通信规格EtherCAT规格适应多离子传感器M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)可以连接的传感器多离子传感器：1本皮拉尼…

产品详情

Product Detail

ULVAC爱发科    热阴极电离真空计    SH200-R

ULVAC爱发科    热阴极电离真空计    SH200-R



规格

型号SH200-ASH200-RHT200-E
（即将上市）
规格标准规格串口通信规格EtherCAT规格
适应多离子传感器M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
可以连接的传感器多离子传感器：1本
皮拉尼真空计SWU10-R：1本（可选）
大其他传感器SAU：1本（可选）
测量精度（N2）SH200本体模式：±2％
取样时间60ms 5回 移動平均処理
測定値出力出力电压 DC 0～10V　LOG出力 0.75V/1桁
圧力换算公式　V=7.25+0.75×(LogP-2)　P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新时间60msec
控制输入信号FIL ON/OFF, FIL　1/2, DEGAS ON/OFF
打开集电极动作、负逻辑
* FIL ON/OFF信号使用方式因模式而异		--
制御出力信号传感器错误，设定点1/2/3, 有效排放,灯丝电力监控
定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V		--
串行通信规格-RS232C/RS-485EtherCAT
LED显示POWER/ERROR： 电源、LED ERROR (闪烁状态根据各种模式变化)
发射电流1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上)
DEGAS电子轰击脱离方法（电子轰击）1mA、330V
测量部耐圧性2×10+5Pa （绝对压力）
* 需要单独考虑法兰和夹具等的耐压性
传感器内部容量17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46)
使用温度范围10～50℃
使用湿度范围15～80%(不结露)
保管温度-20～65℃(非通电时、不结露)
IP保护等級IP30
电源电压DC20～28V (波纹，噪音1%以下)　
8W以下
输入/输出连接器D-sub15销（M2.6螺丝）
重量调节器：约280g　测定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H69mm×63mm×90mm (控制器部分)
适合规格CE
选项多离子传感器M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
材质：灯丝1,2 -Ir/Y2O3壳
其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Niﾒｯｷ
皮拉尼真空计传感器SWU10-R　※也支持传统的SPU产品。
皮拉尼真空计SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034)
材质：灯丝－Pt, 其他－BS/Ni, 电镀, Ni, 焊接
大气压传感器SAU(NW16) 材质：SUS316L
单位电缆GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m, GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m
显示单元1CH：ISG1 (DC24V电源使用)
显示单元电缆SH200～显示单元电缆
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30ｍ, 35m, 40m
连接器入出力连接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺丝））
其他検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書


各种模式规格

SH200-A/SH200-R/SH200-E有3种方式可选，多规格单体模式、皮拉尼真空计的组合模式、皮拉尼真空计或大气压传感器的三重组合模式

模式SH200-A/SH200-R/SH200-E
单体模式		SH200-A/SH200-R/SH200-E
＋SWU10-R
组合模式		SH200-A/SH200-R/SH200-E
＋SWU10-R＋SAU
组合模式
测量圧力范围5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa
测量精度5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa：
±15%		5.0×10-8 to 1.0×10-1Pa：±15%
4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa：±10～±15%
3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa：±10%
1.0×10+4 to 1.0×10+5Pa：±20%		5.0×10-8 to 4.0×10-1Pa：±15%
4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa：±10～±15%
3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa：±10%
1.0×10+4 to 3.0×10+5Pa：±3%F.S.(3.0×10+3Pa･基准温度25℃)
连接方式图解SH200_S.pngSH200+SWU10-R.pngSH200+SWU10-R+SAU.png
测定压力范围图解SH200_i.png

当需要确认大气压，如腔体打开的情况下，推荐使用三合一组合