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ULVAC爱发科 气体分析仪 BGM2-101
ULVAC爱发科 气体分析仪 BGM2-101ULVAC爱发科 气体分析仪 BGM2-101规格Resolution M/△M=1M(10% P.H.)ModelBGM2-101BGM2-201BGM2-102BGM2-202Mass filter typeQuadrupoleMass range1～100 amu1～200 amu1～100 amu1～200 amuDetector typeFaraday cupEM tubeFa…
产品详情
Product Detail
ULVAC爱发科 气体分析仪 BGM2-101
ULVAC爱发科 气体分析仪 BGM2-101
规格
Resolution M/△M=1M(10% P.H.)
| Model | BGM2-101 | BGM2-201 | BGM2-102 | BGM2-202 |
| Mass filter type | Quadrupole | |||
| Mass range | 1～100 amu | 1～200 amu | 1～100 amu | 1～200 amu |
| Detector type | Faraday cup | EM tube Faraday cup | ||
| Sensitivity | 10-7A/Pa | 4A/Pa | ||
| Minimum detectable partial pressure | 10-8Pa | 10-12Pa | ||
| Maximum operating pressure | 1x10-2Pa | |||
| Total pressure function | Capable/10-2 〜10-5Pa | |||
| One Click function | Capable /He/H2O/N2/O2/Any gas | |||
| One Click leak test function | Capable | |||
| Power input | DC24V±10％ 50W | |||
| Maximum sensor operating temperature | 120℃ (248℉ ) | |||
| Maximum bakeout temperature (electronics removed) | 250℃ (482℉) | |||
| Operating temperature range | 10 to 40℃ (50 to 104℉ ) | |||
| Software | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用 | |||
| Applicable standard | CE | |||