ULVAC爱发科 气体分析仪 RGM2-201F

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ULVAC爱发科 气体分析仪 RGM2-201F

ULVAC爱发科 气体分析仪 RGM2-201F

ULVAC爱发科 气体分析仪 RGM2-201FULVAC爱发科 气体分析仪 RGM2-201F规格传感器质量数范围 (amu)1~200分辨率 (M/ΔM)M/ΔM=1M(10%P.H.)探测器法拉第杯 (FC)灵敏度 (A/Pa) *11e-5A/Pa (孔口直接引入，Ie=50uA)Ee50V时，N2气体=5e-4Pa最小检测分压 (Pa) *1e-10Pa…

产品详情

Product Detail

ULVAC爱发科    气体分析仪   RGM2-201F

ULVAC爱发科    气体分析仪   RGM2-201F



规格

传感器

质量数范围 (amu)1~200
分辨率 (M/ΔM)M/ΔM=1M(10%P.H.)
探测器法拉第杯 (FC)
灵敏度 (A/Pa) *11e-5A/Pa (孔口直接引入，Ie=50uA)
Ee50V时，N2气体=5e-4Pa
最小检测分压 (Pa) *1e-10Pa台(EE50V, Ie500uA时)
全压测定功能 *1有
全压测定范围 *11e-3~e-6 Pa台
离子源带磁铁的Closed Ion Source
灯丝Ir/Y2O32支 (其中1支为备用)
电离电压 (EE;eV)20~70eV (Ie50uA时建议使用50V设置)
发射电流 (IE;uA)50uA/500uA (流程测量建议使用EE50V、50uA)

*1 备用灯丝 (FIL2) 不适用


差动排气系统

连接法兰VCR1/2"螺母等价品
规格压力从0.5~30Pa/10~500Pa中选择
涡轮分子泵UTM70B(70L/s)
前置泵无
前导:KF16
工作保证正线压力:500Pa以下
用于确认正线压力的皮拉尼真空计:SW100-A
装置压力监测用真空计电容测量仪“Model:CCMT”


实用程序

电源电压选择AC100~120V/6A, AC200~220V/3A
压缩空气Dry N2:0.4MPa


其他

质量20Kg
控制单元触摸屏
块状加热器110°C±10°C


选项

分析管RGM-AN202/302RGM2-202.302共享
灯丝QFL-002RGM2-202.302共享
离子源RGM-IS01RGM2-202.302共享
二次电子倍增管QEM-001RGM2-202.302共享
孔口QOF-100RGM2-202/302,REPROS共享
孔口QOF-040RGM2-202/302,REPROS共享
孔口QOF-010RGM2-202/302,REPROS共享
孔口QOF-005RGM2-202/302,REPROS共享