ULVAC爱发科 气体分析仪 RGM2-202

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ULVAC爱发科 气体分析仪 RGM2-202

ULVAC爱发科 气体分析仪 RGM2-202

ULVAC爱发科 气体分析仪 RGM2-202ULVAC爱发科 气体分析仪 RGM2-202规格型号RGM2-202RGM2-302传感器质量分离方式四极型质量分析仪质量数范围1～200 amu1～300 amu分解能M/△M=1M (10%P.H.)检出器SEM/法拉第杯感度110-3 A/Pa最小检知分圧110-10 Pa离子源带磁铁的…

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Product Detail

ULVAC爱发科    气体分析仪   RGM2-202

ULVAC爱发科    气体分析仪   RGM2-202



规格

型号RGM2-202RGM2-302
传感器
质量分离方式四极型质量分析仪
质量数范围1～200 amu1～300 amu
分解能M/△M=1M (10%P.H.)
检出器SEM/法拉第杯
感度1×10-3 A/Pa
最小检知分圧1×10-10 Pa
离子源带磁铁的闭合离子源
灯丝V字型 Ir/Y2O3 1个
电力电压20～70 eV
放射电流10μA
放大器范围1×10-5～1×10-12 A
可烘烤温度120℃
差動排气系统
气体导入阀带孔流量控制阀
最大采样压力13kPa
差动排气系统带中间排气，吹扫的涡轮分子泵。
涡轮分子泵67L/s：N2
前级泵DIS090
皮拉尼真空计SW1-1
电离真空计GI-M2
质量排气系：57kg／控制系：38kg
效用
电源电压AC100V 15A
压缩空气Dry N2：0.4～0.7MPa (Φ6一触式配件)
控制器单元
One Click功能有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas
PC交互RS-232C / 485
外部入输出类似物输入2点（0-10V）
设定点输出2点（异常、警告）
外部联锁（压力保护）
其他
烘烤加热器带式加热器
高度调整架标准
传感器部一控制部链接电线约5m
接口Ethernet
软件Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用
选项PC