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ULVAC爱发科 高速光谱椭偏仪 UNECS-1500M
ULVAC爱发科 高速光谱椭偏仪 UNECS-1500MULVAC爱发科 高速光谱椭偏仪 UNECS-1500M规格波长范围530～750nm、380～760nm（选择）点径Φ1mm、Φ0.3mm（选择）入射角度70固定膜厚再现性1σ = 0.1ｎｍ膜厚范围1nm～2μｍ测量时间受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms平…
产品详情
Product Detail
ULVAC爱发科 高速光谱椭偏仪 UNECS-1500M
ULVAC爱发科 高速光谱椭偏仪 UNECS-1500M
规格
| 波长范围 | 530～750nm、380～760nm（选择） | |
| 点径 | Φ1mm、Φ0.3mm（选择） | |
| 入射角度 | 70°固定 | |
| 膜厚再现性 | 1σ = 0.1ｎｍ | |
| 膜厚范围 | 1nm～2μｍ | |
| 测量时间 | 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms | |
| 平台 | Φ150mm手动式R-θ平台 | |
| 控制PC | 笔记本类型（带操作/分析软件） | |
| 机器构成 | 测量本体（手动平台、控制器BOX付き） 光源单元、操作PC（笔记本型）、使用说明书（CD） | |