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ULVAC爱发科 高速光谱椭偏仪 UNECS-2000A
ULVAC爱发科 高速光谱椭偏仪 UNECS-2000AULVAC爱发科 高速光谱椭偏仪 UNECS-2000A规格型号1500A2000A3000A波长范围530～750nm、380～760nm（选择）点径Φ1mm、Φ0.3mm（选择）入射角度70固定膜厚再现性1σ = 0.1ｎｍ膜厚范围1nm ～ 2μｍ测量时间受光：20ms ～…
产品详情
Product Detail
ULVAC爱发科 高速光谱椭偏仪 UNECS-2000A
ULVAC爱发科 高速光谱椭偏仪 UNECS-2000A
规格
| 型号 | 1500A | 2000A | 3000A | |
| 波长范围 | 530～750nm、380～760nm（选择） | |||
| 点径 | Φ1mm、Φ0.3mm（选择） | |||
| 入射角度 | 70°固定 | |||
| 膜厚再现性 | 1σ = 0.1ｎｍ | |||
| 膜厚范围 | 1nm ～ 2μｍ | |||
| 测量时间 | 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms | |||
| 平台 | Φ150mm自动 | Φ200mm自动 | Φ300mm自动 | |
| 自动测量 | 200点 | 200点 | 2,000点 | |
| 控制PC | 笔记本类型（带操作/分析软件） | |||
| 机器构成 | 测量本体、控制器、操作PC（笔记本型）、使用说明书（CD） | |||