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MISAKA米卡萨 MS-B300 旋转器
MISAKA米卡萨 MS-B300 旋转器MISAKA米卡萨 MS-B300 旋转器最大板块尺寸φ12英寸晶圆或200200毫米基板安全联锁真空标准装备转速（转速）20~5,000盖标准装备旋转精度1转/分钟（负载时）滴水装置可选（最多可安装两只手臂）发动机交流伺服电机盖聚碳酸酯真空压力-0.08~-…
产品详情
Product Detail
MISAKA米卡萨 MS-B300 旋转器
MISAKA米卡萨 MS-B300 旋转器
最大板块尺寸 | φ12英寸晶圆或200×200毫米基板 | 安全 联锁 | 真空 | 标准装备 | |
转速（转速） | 20~5,000 | 盖 | 标准装备 | ||
旋转精度 | ±1转/分钟（负载时） | 滴水装置 | 可选 （最多可安装两只手臂） | ||
发动机 | 交流伺服电机 | ||||
盖 | 聚碳酸酯 | 真空压力 | -0.08~-0.1MPa | ||
| 离心室直径 | φ500毫米 | 权力 | AC200~240V 单层 5A | ||
| 步骤数量与模式 | 100步×10图案 | 尺寸（毫米） | 545W×432H×654D | ||
时间设定 | 999.9秒 | 重量 | 55公斤 | ||