CASAHI-SPECTRA朝日分光 OMD-1000 测量设备CASAHI-SPECTRA朝日分光 OMD-1000 测量设备它是一种光谱薄膜厚度监测器,利用单色光监测沉积过程中基板光强的变化。 它也被用于我们自己的沉积设备,是一台富含沉积零件制造专业知识的薄膜厚度监测设备。广波长范围之前的型号…
CASAHI-SPECTRA朝日分光 OMD-1000 测量设备
CASAHI-SPECTRA朝日分光 OMD-1000 测量设备
它是一种光谱薄膜厚度监测器,利用单色光监测沉积过程中基板光强的变化。 它也被用于我们自己的沉积设备,是一台富含沉积零件制造专业知识的薄膜厚度监测设备。
之前的型号是基于滤波片的波长选择,而新产品则集成了我们经过验证的光谱仪,允许你选择任何波长。
胶片厚度变化的信号从电压输出传输到兼容个人电脑的数字输出,控制机构通过手动作指令控制到计算机。 此外,厚度计机身可通过输入/电波直接连接到计算机进行控制,使其成为一个非常紧凑的系统,无需像其他制造商那样使用控制器。
带光谱仪的紧凑设计
提升抗噪能力,以实现可靠的薄膜厚度监测(静电放电测试耐电压±5kV)
通过PC命令实现自动控制
控制器内置于接收机体内,以实现高成本性能
它连接在沉积设备上,用于监测胶片厚度。
安装方式如右图所示。
| 型式 | OMD-1000 |
| 光谱仪类型 | 切尔尼-特纳字体单色单色 |
| 波长范围 | 保修范围:380~900nm 工作范围:350~1100nm |
| 波长分辨率 | スリット0.5毫米:4.2纳米 [546纳米] スリット1.0毫米:8.3纳米 [546纳米] |
| 波长精度 | ±1.0海里 |
| 最小波长馈源 | 0.1nm |
| 外部控制 | RS232C |
| 外部输出端子 | DC0~2V(全比例) |
| 采样区间 | 100毫秒或更久 |
| 静电放电测试电压 | ±5kV(实际作为8kV) |
| 光源 | 12V100W 卤素灯 |
| 光量安定性 | ±0.1%/h 以下 |
| 输入电压 | AC100V 50/60Hz |
| 允许输入电压 | AC85~132V |
| 表视功率 | 340VA或更低 |
| 使用环境 | 温度:10~35°C ,湿度20~80% |